中走絲那個好，介紹了電容式傳感器在小量程壓力測量領(lǐng)域的優(yōu)勢和目前研制小量程MEMS電容式壓力傳感器的技術(shù)難點。從實現(xiàn)MEMS電容式傳感器小量程壓力測量的不同方法出發(fā)，詳細(xì)論述了國內(nèi)外的研究成果、關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用情況。

中走絲那個好，最后分析總結(jié)了小量程MEMS電容式壓力傳感器的發(fā)展方向與挑戰(zhàn)。如今，用于測量中等壓力(0.1～10 MPa)的MEMS傳感器已經(jīng)相當(dāng)成熟，并且已經(jīng)實現(xiàn)批量化生產(chǎn)。工作壓力低于0.1 MPa者卻不多見，遠(yuǎn)不能滿足小量程壓力測量需求。

中走絲那個好，小量程壓力測量主要應(yīng)用于大氣壓力測量和生物體內(nèi)部的壓力測量。氣壓測量在氣象、航空、實驗室等條件中運用頻繁。在氣象學(xué)領(lǐng)域里，壓力數(shù)據(jù)是估算大氣中水汽含量不可或缺的參數(shù)。

中走絲那個好，又如，根據(jù)氣壓值隨海拔高度線性降低的關(guān)系可以實時獲取航天器飛行時的高度位置信息。這些應(yīng)用領(lǐng)域的氣壓值均在一個大氣壓（0.1 MPa)以下，而且需要傳感器便攜式和集成化。